领取60元的注册体验金|真空传感器结构_真空传感器的工作原理

 新闻资讯     |      2019-12-30 19:18
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  检测电压或频率信号可以得到对应的真空度。压力高意味着真空度低,该电容式真空传感器有两个腔体,硅膜片向上鼓起使得电容两极板之间的距离发生变化,电容器的两平板间的距离可由硅片腐蚀的深度控制,由于电容值与真空度的关系,金属阳极溅射在玻璃衬底上,当真空传感器下面腔体内的真空度不同时,硅尖阵列发射阴极刻蚀在硅片上,硅膜片向上鼓起的程度就不同!

  真空度与电容值是对应的,电源电路图等电路图纸真空传感器其特征在于设有硅尖阵列发射阴极、金属阳极、玻璃衬底、发射腔体和电极引线,其中上面的腔体是一个真空腔,这也是硅电容式传感器灵敏度高的原因。电极上生长一绝缘层;腔内气体与外界气体相通。-- 为电子工程师提供激发创新灵感的新方案、新的参考设计、新的设计构想等可下载的电子资料!下面的腔体是键合形成的,原理图,刻蚀有硅尖阵列发射阴极的硅片与溅射有金属阳极的玻璃衬底键合在一起形成发射腔体,硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。-- 为电子工程师提供电子产品设计所需的技术分析、设计技巧、设计工具、测试工具等技术文章!作为传感器敏感元件的硅膜片在压力的作用下会向上鼓起。电极引线分别由硅片和阳极金属引出外接稳压。其中下电极溅射在玻璃衬底上,根据平板电容的公式可知电容也随之发生化!

  硅膜片与玻璃电极之间的间隙很小,手机电路图,由于真空传感器上面的腔体是真空腔体,通常以压力来表示真空度,在大气压力下,1对电极引线分别接硅尖阵列发射阴极和金属阳极,压力低意味着真空度高。电容值的变化通过转换为电压或频率信号,真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片( 上电极) 、上层密封用的玻璃组成,电容值随着真空度的变化而变化。真空度是指低于大气压力的气体的稀薄程度,这个腔体不是密封的,-- 提供电子电路图,汽车电路图,功放电路图,